Co to jest fotolitografia?
Fotolitografia jest jednym z ważnych procesów w produkcji układów scalonych (układów scalonych lub chipów). Mówiąc najprościej, jest to proces kopiowania wzoru obwodu na podłoże za pomocą fotomaski i fotorezystu.
Podłoże będzie malowane na warstwie izolacyjnej z dwutlenku krzemu i fotomasce. Fotomaskę można łatwo rozpuścić za pomocą wywoływacza po wystawieniu na działanie światła UV, po rozpuszczeniu i wytrawieniu wzór obwodu pozostanie na podłożu.
Co to jest fotomaska? Dlaczego długość fali UV 500 nm musi się blokować?
Fotomaskę łączy się z żywicami, rozpuszczalnikami i dodatkami. Zakres światłoczułości fotomaski wynosi 200 nm-500nm. Dlatego wiele laboratoriów zajmujących się półprzewodnikami zastosuje żółte światło, które blokuje długość fali UV 500 nm, aby zapobiec prześwietleniu lub przedwczesnemu naświetleniu fotomaski.
