Jak wybrać oświetlenie procesowe do litografii półprzewodnikowej (lampa LED T8 z żółtą diodą LED, anty UV LED)
1. Wymagania dotyczące jasności
W procesie litografii półprzewodnikowej źródło światła oświetlającego zapewnia jakość obrazowania chipa, dlatego wymagania dotyczące jasności są bardzo ważne. Ogólnie rzecz biorąc, wymagana jasność w przypadku ekspozycji fotolitograficznej wynosi 100-150mW/cm². Jeśli jasność jest zbyt niska, spowoduje to niedoświetlenie i wpłynie na klarowność i dokładność obrazowania chipów.
2. Wymagania dotyczące jednolitości
Oprócz wymagań dotyczących jasności ważnym czynnikiem jest również równomierność oświetlenia. W procesie fotolitografii jednolitość odnosi się do różnicy w rozkładzie jasności w każdym miejscu projektora. Ogólnie rzecz biorąc, wymóg jednolitości wynosi od 1% do 3%. Jeśli jednolitość będzie niewystarczająca, może to spowodować nierównomierne naświetlenie chipa, co wpłynie na klarowność i dokładność obrazu.
3. Wymagania dotyczące temperatury barwowej
Temperatura barwowa oświetlenia odnosi się do koloru światła oświetleniowego. W procesie litografii półprzewodników bardzo ważny jest także wybór temperatury barwowej. Ogólnie rzecz biorąc, wymagana temperatura barwowa mieści się w przedziale 3500 K-5000K. Jeśli temperatura barwowa jest zbyt niska lub zbyt wysoka, klarowność i dokładność obrazu chipa może zostać zmniejszona.
Krótko mówiąc, wymagania oświetleniowe w procesie litografii półprzewodników są bardzo ważne i muszą zostać spełnione pewne wymagania dotyczące jasności, jednorodności, temperatury barwowej itp. Tylko zapewniając jakość oświetlenia, możemy lepiej zapewnić jakość i dokładność chipa obrazowanie.
Konkretne szczegółowe parametry:
1.100% zniesienia promieni ultrafioletowych (długość fali filtra <500nm).
2. Niemcy ulepszają technologię materiałów.
3. Surowiec PC, klasa ognioodporności V2.
4. Układ LED Epistar 100-120lm/w, 1500 K -2000K
5. Wbudowany izolowany kondensator rubinowy mocy.
6. Dostępna jest żółta przezroczysta i mroźna osłona.
https://www.benweilight.com%2żarówka-rurowa-lotnicza/specjalny-t8-led-rurka/
